影像测量仪常见故障分为升降传动故障、工作台故障、影像成像故障、电气故障、电子故障以及精度故障等。

1、升降传动故障。常见的有升降有异响、无法上升，下降、下降有坠落感，弹跳、传动时空回间隙大、微调不传动、投影屏框松动等。

2、工作台故障。一般容易出现光杆空转、光杆传动有弹跳、磨擦传动时不顺、工作台运动有响声、工作台运动有卡滞现象等。解决故障时，要要找出故障原因，再对症下药。           可调整弹簧的螺丝松紧、更换轴承、新上油、加润滑油、更换光杆、调节或更换光杆支架等方式来解决。

3、影像成像故障。显示黑屏时可查看电源线是否接好，电源电压等，插紧显示器信号线，如有零件损坏则需要更换显示器或者十字线产生器。当物镜变倍时十字线与描准点偏          移大时，重调锁镜筒的螺丝钉，或者换镜筒。当出现被测工作的某一边有暗影时，可调节摄像机或者玻璃四个角上的螺丝，摆正工件。

4、电气故障。常见故障有光源不亮、易烧保险丝、变压器过热，损坏等。

5、电子故障。如数据盒失灵，可关机重启；如轴不计数，可换滑座或OP板或整个尺、重新接一下信号线、换主机板等。

6、精度故障。包括x.y轴精度不准、两坐标测量精度差、角度示值误差大、不同平面测量误差大等。应对此类故障，要注意校正和调整。